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净化车间相对湿度严格控制的必要性分析
净化车间,亦称净化室、净化车间、洁净室或清静室。净化室的关键作用为室内空气污染操纵,沒有净化室,环境污染比较敏感零部件不太可能大批量生产。在FED-STD-2里边,净化室被界定为具有空气净化、分派、提升、结构原材料和设备的屋子,在其中特殊的标准的操作流程以操纵气体飘浮颗粒浓度值,进而超过适度的颗粒洁净度等级级別。
净化车间空气湿度操纵不太好,总有将会使净化车间整体主要表现降低,并且还会产生下列这种一连串的危害。下面小编就为大家分享为什么净化车间一定要控制相对湿度。
1、病菌生长发育。
病菌和别的生物污染(黄曲霉菌,病毒感染,细菌,满虫)在空气湿度超出60%的自然环境中能够活跃性地繁育。某些有益菌在空气湿度超出30%时就能够提高。而空气湿度处在40%至60%的范畴中间时,能够使病菌的危害及其呼吸道感染降到最少。因此净化车间的空气湿度必须操纵在必须范畴。
2、空气湿度操纵不太好,非常容易导致净化车间里的金属腐蚀。
许多放热反应的速率,包含浸蚀全过程,将随之空气湿度的提高而加速。全部曝露在净化车间周边气体中的表层都迅速地被植物遮盖上最少一层层单分子层的水。当这种表层是由能够与水反映的薄金属涂层构成时,高环境湿度能够使反映加快。某些金属材料,比如铝,能够与水产生一层层维护型的化合物,并阻拦深化的氧化还原反应;另这种金属材料,比如氧化铜,不是具备维护工作能力的。在高环境湿度的自然环境中,铜制表层更非常容易遭受浸蚀。
3、净化车间空气湿度操纵不太好会出現静电作用。
当空气湿度超出50%时,静电作用刚开始快速消退,可是当空气湿度低于30%时,他们能够在导体和绝缘体或是未接地装置的表层上不断存有很长过段时间。东莞净化车间空气湿度在35%到40%中间能够做为1个比较满意的最合适的,半导体材料净化车间通常都应用附加的操纵设备以限定静电作用的积淀。
4、吸水能力。
空气湿度操纵不太好,对净化车间吸水能力产出率必须的危害。
5、水蒸气冷疑。
在空气湿度较高的净化车间自然环境中,萃取水形的毛细管力在颗粒物和表层中间产生了联接键,能够提升颗粒物与硅质表层的黏附力。这类效用称之为凯尔文萃取,就是说当空气湿度低于50%时并不是关键,但当空气湿度在70%上下时,就变成颗粒物中间粘附的关键能量。
6、净化车间的环境湿度在40%至60%的范畴一样都是人们觉得舒服的适当范畴。
假如净化车间环境湿度过过高使人感觉憋闷,而环境湿度小于30%则会令人觉得干躁,肌肤干裂,呼吸系统不适感及其感情上的很慢,进而危害工作中。
7、净化车间光刻的衰退。
在半导体材料净化车间中最急需解决适当操纵的是光刻胶的敏感度。因为光刻胶对空气湿度极其比较敏感的特点,它对空气湿度的操纵范畴的规定是最严苛的。空气湿度和溫度针对光刻胶可靠性及其精准的规格操纵全是很重要的。乃至是在控温标准下,光刻胶的黏性将随之空气湿度的升高而快速降低。自然,更改黏性,就会更改由固定不动多组分镀层产生的原膜的薄厚。
除此之外,在高的空气湿度自然环境下,因为水份的消化吸收,使烤制循环系统后光刻胶澎涨加剧。光刻胶粘合力一样还可以遭受较高的空气湿度的不良影响;较低的空气湿度(约30%)使光刻胶粘附更为非常容易,乃至不用聚合物沥青改性剂,如六甲基二硅氮烷(HMDS)。